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使用线传感器实现 Micro LED 的 3D 形貌检测
发布时间:2025-02-28 15:12:44      点击次数:480

Micro LED 的粗略定义是指尺寸在100μm 以下的 LED,相较于传统的 LED 及 OLED,Micro LED 具有长寿命、高分辨率和对比度、更好的亮度和色彩丰富度以及低功耗等诸多有点,但也由于其过小的尺寸,在其量产上仍有许多技术瓶颈。


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目前 Micro LED 尺寸主要有以下几种:高度 ≤ 10 μm,长宽尺寸 34*58 μm, 20*40 μm, 15*25 μm。由于其超小的尺寸和密集的数量,使得 Micro LED 的巨量转移以及转移后的缺陷检测和修复成为其良品率的核心影响工艺。


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Micro LED 的缺陷检测目前主要以 2D 视觉方案为主,同时也有对 Micro LED 高度共面度的 3D 检测需求,Precitec 普雷茨特高精度 3D 线光谱为 Micro LED 的 3D 检测,提供了稳定且高效的检测手段。



普雷茨特解决方案


光谱共焦线传感器 CHRocodile CLS 2 是在严酷的工业环境中进行精确 3D 在线质量控制的理想工具。通过高达 36,000 条轮廓/秒的快速线扫,可以在很短的时间内确定样品的三维结构 - 非常适合工作周期时间很关键的在线应用。


光谱共焦测量技术提供的数据具有极高的横向和轴向分辨率,能够确保对任何类型的材料进行测量,并且没有阴影效应 - 即使是复杂的几何形状。

此外,易于更换的光学探头提供了高度的灵活性,使传感器的规格符合您的要求。

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线传感器 CLS 2 系列非常适合如下应用:

在半导体行业的应用:引线键合检测、凸点测量、包装晶圆边缘检查、切割槽检查、缺陷、裸片裂缝、光掩膜光刻

在消费电子领域的应用:外壳形貌检查,轻微、中等和高度弯曲表面的检查、倒角和转角检查、直径/孔/梯形表面检查、特殊高度物体的外观检查


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线传感器 CLS 2 Pro 技术参数


新一代 CHRocodile CLS 2Pro 可完美结合 8mm 线长与 38° 接收角,这在市场上是独一无二的。再加上出色的横向显微级分辨率、2100 万个测量点的高点密度和 36000 行/秒的快速扫描速度,这款共焦线传感器非常适合对速度、精确度和灵活性有着较高要求的检测应用,且不会产生任何阴影。

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